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Konferenzschrift
Spektrale Vibrationsmessung mit mikromechanischen kraftgekoppelten Silizium-Schwingern
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2007
Conference Paper
Title
Spektrale Vibrationsmessung mit mikromechanischen kraftgekoppelten Silizium-Schwingern
Author(s)
Forke, R.
Scheibner, D.
Hiller, K.
Gessner, T.
Dötzel, W.
Mehner, J.
Mainwork
Mikro-System-Technik Chemnitz '07: Mikromechanik & Mikroelektronik
Conference
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik 2007
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM