Multiskalige Mess- und Prüfstrategien in der Mikro- und Nanomesstechnik

Um technische Komponenten mit Abmessungen im Mikro- oder Nanometerbereich zu messen und zu prüfen, werden Messsysteme, die einerseits über eine hohe Auflösung verfügen und anderseits einen großen Messbereich erfassen, benötigt. Dies ist in der Praxis häufig nur durch die Kombination von auf verschiedenen Skalen messenden Sensoren realisierbar. An der Universität Stuttgart wird eine multiskalige Mess- und Prüfstrategie entwickelt, die eine dynamische Steuerung des Prüfablaufes vorsieht, so dass aufwendige Messverfahren lediglich auf kritischen Bereichen angewendet werden. Zwei Anwendungsbeispiele werden herangezogen, um die Kernpunkte der Strategie zu erläutern: Indikatoren, die den Übergang von großflächiger zu hochaufgelöster Objekterfassung steuern, werden anhand der Prüfung von Mikrooptikarrays veranschaulicht. Das zweite Beispiel - die Oberflächenprüfung mittels Bildverarbeitung und AFM - illustriert die Registrierung der Daten aus verschiedenen Messungen und deren weiteren Verarbeitung.