Konzepte für die Sicherung von Festigkeit und Zuverlässigkeit von Komponenten der Siliziummikromechanik

Silizium-basierte Mikrosysteme werden heute auch in sicherheitsrelevanten Anwendungen der Automobil- und Medizintechnik industriell eingesetzt. Sowohl für eine zuverlässige Auslegung der Bauteile, wie auch für die Schadensanalyse sind geeignete Konzepte zur Beschreibung ihrer Festigkeits- und Lebensdauereigenschaften erforderlich, die den technologischen und materialtechnischen Besonderheiten von Mikrosystemen Rechnung tragen. Anhand von Beispielen aus der Praxis werden angepasste burchmechanische und festigkeitstheoretische Ansätze vorgestellt, mit deren Hilfe der Einfluss von Größeneffekten oder von typischen Prozesschritten, wie anisotropes Ätzen und Waferbonden, auf die Festigkeit beschrieben und das Lebens dauerverhalten modelliert werden kann.