Verfahren zur tiefenaufgelösten Polarisationsbestimmung in pyroelektrischen Dünnschichten

Im vorliegenden Beitrag werden einige wesentliche Grundlagen zur Bestimmung der tiefenaufgelösten Polarisationsverteilung in pyroelektrischen PbZrxTi1-xO3-Dünnschichten vorgestellt. Den Schwerpunkt bildet die methodische Weiterentwicklung der Temperaturwellenmethode (Laser Intensity Modulation Method, LIMM), die bisher zur Untersuchung von Dünnschichten nicht anwendbar war. Erstmals werden systematisch die Unsicherheitsbeiträge betrachtet, welche die Gesamtunsicherheit des LIMM-Verfahrens, das aus mathematischer Sicht ein invers schlecht gestelltes Problem darstellt, beeinflussen. Insbesondere wird der Einfluß des mathematischen Rekonstruktionsverfahrens sowie die Tiefenauflösung erörtert.