Automatische Optimierung von Festphasenbildungsprozessen bei der Abscheidung von Reinstsilizium

Am Beispiel des Siemens C-Prozesses sind die Chancen und Möglichkeiten der automatischen Optimierung von chemischen Festphasenbildungsprozessen untersucht worden. Die Simulation eines aus chemischer Reaktion und Feststoffabscheidung im anisothermen Strömungsreaktor bestehenden Prozesses gelingt durch Kopplung von thermodynamischen und kinetischen Beziehungen mit Transportvorgängen auf der Basis von FLUENT- und CASTS-Lösungsroutinen. Die numerische Optimierung aufeinanderfolgender Zeitstufen mittels einer bikriteriellen Zielfunktion (Pareto-Ansatz) führt zur Präzisierung von Input-Parametern. Die Erweiterung auf reale Reaktoren mit mehreren Si-Kernen und auf weitere Kriterien, die die Gütefunktion beeinflussen, erscheint aussichtsreich.