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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Schadensanalyse an Komponenten der Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik
 
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2003
Conference Paper
Title

Schadensanalyse an Komponenten der Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik

Author(s)
Faust, W.
Dost, M.
Michel, B.
Mainwork
Fortschritte in der Metallographie. Berichte der 11. Internationalen Metallographie-Tagung  
Conference
Internationale Metallographie-Tagung 2002  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM  
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