Strategie zur fertigungsintegrierten Bestimmung der Formtreue bei der Replikation von Optikkomponenten

Die Charakterisierung von Formabweichungen mit interferometrischen Verfahren in separaten Messlaboren hat sich bei der Herstellung von Optikkomponenten durchgesetzt. Eine Integration dieser Verfahren in die Bearbeitungsmaschine wird derzeit noch nicht praktiziert, obwohl damit erheblich verkürzte Durchlaufzeiten möglich sind. Außerdem können über Schnittstellen zwischen Maschinensteuerung und Messtechnik NC-Datensätze on-line korrigiert werden. Neben der Entwicklung einer integrierbaren Messtechnik für diesen Anwendungsbereich, sind auch Strategien zur Kalibrierung des Messsystems notwendig, insbesondere wenn die Optikkomponenten asphärische Geometrien haben. Die Strategien werden auf Basis eines Referenzmesssystems erarbeitet, das aus einem externen Antastelement und einer Nanopositionier- und Nanomesseinheit besteht. In diesem Beitrag werden erste Messungen an Planflächen mit dem Messsystem vorgestellt.