Sensorsysteme im CMOS Prozess

Seit der Erfindung der Integrierten Schaltung gibt es immer wieder Bestrebungen, zusammen mit den Transistoren und passiven Bauelementen auch Sensoren und Aktoren auf einem Chip zu integrieren. Das Spektrum der realisierten Bauelemente reicht vom einfachen Temperatursensor bis hin zum komplexen Chemielabor auf dem Chip. Manche dieser Sensorsysteme sind zwar technisch hoch interssant und erstaunlich leistungsfähig, sind aber am Markt bisher nicht erfolgreich. Andere Systeme dagegen haben enormen Erfolg. In diesem Beitrag werden die erzielbaren Vorteile aber auch die Hindernisse bei der monolithischen Integration von Sensoren beleuchtet. Ausgewählte Beispiele zeigen die heutigen Möglichkeiten der Integration von Sensorsystemen.