Neue Anwendungen des Lasers in Elektrotechnik und Mikrotechnik

Hohe Ortsauflösung durch Fokussierbarkeit auf wenige Mikrometer, geringe Wärmeeinbringung und hohe Flexibilität zeichnen die Laserbearbeitungsverfahren aus und qualifizieren sie in idealer Weise für die Mikrotechnik und für viele Anwendungen in der Elektrotechnik. Die Einsatzbereiche sind vielfältig und finden sich in der Herstellung, der Aufbau- und Verbindungstechnik, der Nachbearbeitung und der Justage von Komponenten für Elektronik, Sensorik, Medizintechnik, Feinwerktechnik und Mikrosystemtechnik. Dabei liegen die Anwendungen des Lasers nicht nur in der Herstellung spezieller Strukturen in bestehenden Bauteilen, sondern in allen Bereichen der Produktentstehung innovativer High-Tech-Produkte. Insbesondere in der Elektronik nimmt der Laser verstärkt eine besondere Rolle in der Herstellung ein. Zu nennen sind hier vor allem die UV-Lithographie, mit der Strukturen in Halbleitern mit Geometrien < 100 nm erzeugt werden. Dies ermöglicht höchste Integrationsdichten bei Prozessoren und Spei cherbausteinen. Aber auch in der Aufbau- und Verbindungstechnik finden sich verstärkt Laserapplikationen, bei denen die Vorteile der Lasertechnik mit geringer und extrem lokalisierter Energiedeposition zum Tragen kommen. Weitere Felder für Laseranwendungen in der Mikrotechnik sind die Mikrostrukturierung von Mikrosystemen und medizintechnischen Produkten, die lokale Beschichtung und Metallisierung sowie in Kombination mit konventionellen Verfahren die Herstellung von Werkzeugen zum Spritzgießen, Stanzen und Prägen. Im folgenden werden einige dieser Technologien mit hohem Wachstumspotential im Detail vorgestellt.