Automatisierung in der Displayproduktion

Die neuste Entwicklung der Flat Panel Produktion zu immer größeren Substratgeometrien, großen Stückzahlen, hoher Variantenvielfalt sowie kurze Durchlaufszeiten erfordert neue Automatisierungslösungen. Für die immer kleiner werdenden Strukturbreiten erfolgt die Produktion unter dem Einsatz von hochwertigen Reinräumen. Höchste Anforderungen bezüglich der Reinheit herrscht im sogenannten Fornt End-Bereich. Für diesen Produktionsabschnitt werden unterschiedliche Aspekte der Automatisierung im Hardware sowie auch im informationstechnischen Bereich sowie die zukünftigen Trends diskutiert.