1997
Conference Paper
Title

Monte-Carlo simulation of silicon amorphization during ion implantation

Other Title
Monte-Carlo-Simulation von Silicium-Amorphisierung bei Ionenimplantation
Author(s)
Bohmayr, W.
Burenkov, A.  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Lorenz, J.  
Ryssel, H.
Selberherr, S.
Mainwork
Conference
Language
English
Keyword(s)