Hochauflösende Materialcharakterisierung mit mikroskopischen Techniken

Mikroskopische Techniken sind ein geeignetes Mittel zur hochauflösenden Materialcharakterisierung, wie sie in der Werkstoffentwicklung und im speziellen in der Mikrosystem- sowie Datenspeichertechnik gefordert wird. Zur Entwicklung neuer Werkstoffe ist die Kenntnis lokaler Gefüge- und Eigenspannungszustände von entscheidender Bedeutung. Eine hochauflösende Materialcharakterisierung wird auch in dünnen Schichten, die für den Einsatz in digitalen Aufzeichnungssystemen in Frage kommen, gefordert. Ein wichtiger Aspekt ist neben der Bestimmung der mechanischen Eigenschaften von Mikrosystemen auch die Bestimmung ihrer elektrischen Eigenschaften. Prüfverfahren, die eine hochortsaufgelöste elektrische Funktionsanalyse erlauben, sind somit von größter Bedeutung für die Mikrosystemtechnik. In unserem Hause verfügen wir über eine Reihe hochauflösender bzw. mikroskopischer zerstörungsfreier Techniken, wie z.B. die Wärmewellenmikroskopie, die akustische Mikroskopie, die Hochfrequenzultraschall, die Barkhausenmikroskopie, die Wirbelstrommikroskopie, die Mikrocomputertomographie sowie die Rasterkraftmikroskopie.