Strategien zur Modellierung und Simulation in der Mikrosystemtechnik

In der Mikrosystemtechnik werden modernste Technologien (Mikroelektronik, Mikromechanik, ...) eingesetzt, um sehr komplexe Systeme auf engstem Raum zu integrieren. Der Entwurf stellt dabei aufgrund domänenübergreifender Aufgaben sowie eng gekoppelter Wechselwirkungen zwischen den Systemkomponenten einen komplizierten Prozeß dar. Der Simulation einzelner Systemkomponenten als auch des Gesamtsystems kommt im Entwurfsablauf von der Spezifikation bis hin zum Prototyp eine wachsende Bedeutung zu. Im Vortrag wird einleitend auf Aspekte der Modellierung und Simulation in der Mikrosystemtechnik eingegangen. Es werden zwei Wege zur Systemsimulation - die Simulatorkopplung und die Modellbildung für einen Simulator - aufgezeigt und die Herangehensweise an einem repräsentativen Beispiel erläutert. Für beide Verfahren werden die Voraussetzungen und Realisierungsmöglichkeiten herausgearbeitet, Simulationsergebnisse vorgestellt und Einsatzmöglichkeiten aufgezeigt.