Partikelmessungen auf Oberflächen

In Anbetracht immer kontaminationsempfindlicherer Produkte ist es für eine Minimierung der Ausschußrate unerläßlich, die Reinheit der Produktoberflächen sowie der Oberflächen in der Produktumgebung dauernd zu überprüfen. Diese "technischen" Oberflächen befinden sich überall in unmittelbarer Produktumgebung. Es sind z.B. die Wände einer Prozeßkammer, die Innenoberfläche einer Transportbox für Halbleitersubstrate oder die Oberfläche eines Arbeitstisches. Überwachung, Messung und Identifizierung dieser Oberflächenverunreinigungen ist daher heute ein wesentlicher Bestandteil von "reinen" Fertigungen geworden /1/. Dabei rücken Meßmethoden, die eine quasi on-line Messung ermöglichen, immer mehr in den Vordergrund.