Laseroptische Anordnung zur Laserinterferenzbearbeitung, insbesondere Laserstrukturierung von Oberflächen

Die Erfindung betrifft eine laseroptische Anordnung zur Laserinterferenzbearbeitung, insbesondere zur Laserstrukturierung, bei der ein von einer Laserstrahlquelle (1) emittierter Laserstrahl (A) mit mindestens einem Strahlteiler (BS1) in mindestens zwei Teilstrahlen (B1, B2) geteilt wird und die Teilstrahlen (B1, B2) auf reflektierende Elemente (M1, M2) und mindestens einen weiteren Strahlteiler (BS2) so gerichtet sind, dass mindestens zwei miteinander interferierende Teilstrahlen (C und D) auf eine zu bearbeitende Oberfläche eines Substrates (S) und/oder einen zweiten Strahlpfad (7) auftreffen. Mindestens einer der Strahlteiler (BS1, BS2) oder mindestens eines der reflektierenden Elemente (M1, M2) ist um eine senkrecht zur optischen Achse eines Teilstrahles (B1, B2) in einem Winkel TH von 45 °, in dem die Strahlteiler (BS1, BS2) und reflektierenden Elemente (M1, M2) in Bezug zur jeweiligen optischen Achse des Laserstrahles (A) oder des jeweiligen Teilstrahles (B1, B2) ausgerichtet sind, verschwenkbar oder verschwenkt, so dass ein Phasenunterschied zwischen den interferierenden Teilstrahlen (C, D) erreichbar ist und die Teilstrahlen (B1, B2) ab dem im Strahlengang der Teilstrahlen (B1, B2) ausgehend vom ersten Strahlteiler (BS1) zuletzt angeordneten Strahlteiler (BS2) interferieren.