Vorrichtung und Verfahren zur interferometrischen Vermessung einer Oberfläche eines bewegten Prüflings

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur interferometrischen Vermessung einer Oberfläche eines bewegten Prüflings mit einem Interferometer. Demgegenüber ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung gegenüber diesem Stand der Technik, eine Vorrichtung und ein Verfahren zur interferometrischen Vermessung einer Oberfläche eines gezielt in einer beliebigen Richtung bewegten Prüflings bereitzustellen, bei dem die Bewegungsstrecke nicht gemessen werden muss und bei dem die Bewegungsstrecke auch erheblich größer als die Lichtwellenlänge sein kann. Zur Lösung zumindest einer dieser Aufgaben wird vorgeschlagen, die eingangs genannte Vorrichtung so auszugestalten, dass die Vorrichtung eine Kompensationseinrichtung aufweist, die derart ausgestaltet und eingerichtet ist, dass mit der Kompensationseinrichtung eine optische Weglängendifferenz zwischen einem Objektpfad und einem Referenzpfad des Interferometers veränderbar einstellbar ist, und mit einer Steuereinrichtung, wobei die Steuereinrichtung derart wirksam mit der Kompensationseinrichtung verbunden ist, dass die Weglängendifferenz zwischen dem Objektpfad und dem Referenzpfad einstellbar steuerbar ist, wobei die Steuereinrichtung derart eingerichtet und ausgestaltet ist, dass die Steuereinrichtung in einem Betrieb der Vorrichtung die Kompensationseinrichtung so steuert, dass eine durch die Kompensationseinrichtung bewirkte Änderung der Weglängendifferenz zwischen dem Objektpfad und dem Referenzpfad gleich einer aus einer Geschwindigkeit der Oberfläche des Prüflings in einer Richtung parallel zu dem Sensitivitätsvektor resultierenden Änderung der Weglängendifferenz ist.