Verfahren und Vorrichtung zum optischen Vermessen eines ersten Oberflächenabschnitts eines Prüflings

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren mit den Schritten, Erzeugen von elektromagnetischer Strahlung mit einer Strahlungsquelle, Bestrahlen des ersten Oberflächenabschnitts mit der elektro-magnetischen Strahlung und Erfassen einer Intensität der von dem ersten Oberflächenabschnitt reflektierten oder gestreuten elektromagnetischen Strahlung mit einem Detektor, wobei die Oberfläche des Prüflings einen zweiten Oberflächenabschnitt aufweist und wobei die Strahlungsquelle, der Detektor, der erste Oberflächenabschnitt und der zweite Oberflächenabschnitt derart zueinander angeordnet sind, dass eine Intensität der elektromagnetischen Strahlung, die nacheinander an dem ersten Oberflächenabschnitt und an dem zweiten Oberflächenabschnitt reflektiert oder gestreut wird, von dem Detektor erfassbar ist. Nachteilig ist, dass bekannte Verfahren zum Reduzieren der Einflüsse von Mehrfachreflexionen oder- streuungen alle die Form und Güte der Oberfläche beeinflussen. Demgegenüber ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, welches die Form und Güte der Oberfläche des Prüflings unbeeinflusst lassen. Zur Lösung zumindest einer dieser Aufgaben wird vorgeschlagen, dass das eingangs genannte Verfahren zusätzlich den Schritt aufweist, Anordnen einer Blende zwischen dem ersten Oberflächenabschnitt und dem zweiten Oberflächenabschnitt derart, dass die elektromagnetische Strahlung nicht an dem zweiten Oberflächenabschnitt reflektiert oder gestreut wird.