Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung einer Belegung einer Oberfläche mittels induzierter Fluoreszenz

Die vorliegende Erfindung betrifft das Gebiet der Erfassung einer Belegung einer Oberfläche (also einer Überprüfung ob und ggf. in welchem Ausmaß an bzw. auf einer Oberfläche beispielsweise unerwünschtes Material anhaftet oder aufliegt) und schlägt ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erfassung einer Belegung einer Oberfläche mittels induzierter Fluoreszenz vor, wobei die Oberfläche zur Induzierung einer Fluoreszenz zumindest in der Oberfläche einer Anregung ausgesetzt wird und eine durch die Anregung induzierte Fluoreszenz-Strahlung gemessen wird. Zur Induzierung der Fluoreszenz werden eine erste Anregung und eine zweite Anregung, die sich von der ersten Anregung unterscheidet, verwendet und/oder die Fluoreszenz-Strahlung wird separat in einem ersten und einem zweiten Strahlungs-Wellenlängenbereich gemessen, wobei das Vorliegen einer Belegung durch Vergleich wenigstens eines Mess-Ergebnisses mit einer Referenz bestimmt wird.