Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Partikeln in einem Atmosphärendruckplasma

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Partikeln (30) unter Verwendung eines Atmosphärendruckplasmas, bei dem das Plasma durch eine Entladung (15, 15') zwischen Elektroden (16, 16', 16''; 5, 32) in einem Prozessgas (18) erzeugt wird, und mindestens eine der Elektroden eine Opferelektrode (16, 16', 16'') ist, von der durch die Entladung Material abgetragen wird, wobei es sich bei dem abgetragenen Material um Partikel handelt und/oder aus dem abgetragenen Material Partikel entstehen. Ein Abschnitt der Opferelektrode wird aktiv so gekühlt, dass die mittlere Temperatur der Opferelektrode in einem Bereich der Opferelektrode ausserhalb des Entladungsbereichs (17, 17', 17'') der Opferelektrode niedriger ist als innerhalb des Entladungsbereichs der Opferelektrode.; Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zur Herstellung von Partikeln (30) unter Verwendung eines Atmosphärendruckplasmas, die umfasst: ein Gehäuse (5) mit einem Kanal (7, 7', 7''), mindestens zwei Elektroden (16, 16', 16''; 5, 32), die zumindest teilweise in dem Kanal angeordnet sind, und eine Spannungsquelle (22), die dafür eingerichtet ist, eine Spannung zwischen den mindestens zwei Elektroden anzulegen. Die mindestens zwei Elektroden sind dafür eingerichtet, das Plasma durch eine Entladung (15, 15') zwischen den Elektroden in einem Prozessgas (18) in dem Kanal zu erzeugen, und mindestens eine der Elektroden ist eine Opferelektrode (16, 16', 16''), von der durch die Entladung Material abgetragen wird, wobei es sich bei dem abgetragenen Material um Partikel handelt und/oder aus dem abgetragenen Material Partikel entstehen.; Die Vorrichtung umfasst ferner eine Kühleinrichtung (2), die dafür eingerichtet ist, einen Abschnitt der Opferelektrode aktiv so zu kühlen, dass die mittlere Temperatur der Opferelektrode in einem Bereich der Opferelektrode ausserhalb des Entladungsbereichs (17, 17', 17'') der Opferelektrode niedriger ist als innerhalb des Entladungsbereichs der Opferelektrode.

The invention relates to a method for producing particles (30) using an atmospheric pressure plasma, in which the plasma is generated by a discharge (15, 15') between electrodes (16, 16', 16"; 5, 32) in a process gas (18), and at least one of the electrodes is a sacrificial electrode (16, 16', 16") from which material is removed by the discharge, wherein the removed material is particles and/or particles arise from the removed material. A portion of the sacrificial electrode is actively cooled so that the mean temperature of the sacrificial electrode, in a region of the sacrificial electrode outside of the discharge region (17, 17', 17") of the sacrificial electrode, is lower than within the discharge region of the sacrificial electrode. The invention also relates to a device for producing particles (30) using an atmospheric pressure plasma, which comprises: a housing (5) having a channel (7, 7', 7"), at least two electrodes (16, 16', 16"; 5, 32) which are arranged at least partially in the channel, and a voltage source (22) which is designed to apply a voltage between the at least two electrodes. The at least two electrodes are designed to generate the plasma by a discharge (15, 15') between the electrodes in a process gas (18) in the channel, and at least one of the electrodes is a sacrificial electrode (16, 16', 16") from which material is removed by the discharge, wherein the removed material is particles and/or particles arise from the removed material. The device further comprises a cooling device (2) which is designed to actively cool a portion of the sacrificial electrode so that the mean temperature of the sacrificial electrode, in a region of the sacrificial electrode outside of the discharge region (17, 17', 17") of the sacrificial electrode, is lower than within the discharge region of the sacrificial electrode.