• English
  • Deutsch
  • Log In
    or
  • Research Outputs
  • Projects
  • Researchers
  • Institutes
  • Statistics
Repository logo
Fraunhofer-Gesellschaft
  1. Home
  2. Fraunhofer-Gesellschaft
  3. Patente
  4. Verfahren zur Strukturierung von Schichten oxidierbarer Materialien mittels Oxidation sowie Substrat mit strukturierter Beschichtung
 
  • Details
Options
Title

Verfahren zur Strukturierung von Schichten oxidierbarer Materialien mittels Oxidation sowie Substrat mit strukturierter Beschichtung

Date Issued
2015
Author(s)
Kamp, Mathias
Bartsch, Jonas
Glatthaar, Markus
Patent No
102013219342
Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Strukturierung von Schichten oxidierbarer Materialien. Hierbei wird mindestens eine auf einem Substrat angeordnete Schicht eines oxidierbaren Materials einer lokalen Oxidation mit mindestens einem Oxidationsschritt unterzogen. Bei dieser wird mindestens ein ausgewählter Bereich der Schicht des oxidierbaren Materials oxidiert, sodass die Schicht nach der Oxidation durch mindestens einen sich über die gesamte Schichtdicke erstreckenden oxidierten Bereich in voneinander elektrisch isolierte Bereiche unterteilt ist.
WO15044022A1 [EN] The invention relates to a method for structuring layers of oxidizable materials. In said method, at least one layer of an oxidizable material arranged on a substrate is subjected to a local oxidation process having at least one oxidation step. In said local oxidation process, at least one selected region of the layer of the oxidizable material is oxidized such that the layer is divided into regions electrically insulated from each other by at least one oxidized region extending across the entire layer thickness after the oxidation.
Language
Deutsch
Institute
ISE
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=102013219342A1
Patenprio
DE 102013219342 A1: 20130926
  • Cookie settings
  • Imprint
  • Privacy policy
  • Api
  • Send Feedback
© 2022