Verfahren zur Qualitätskontrolle einer Mikrostrukturierung sowie Vorrichtung hierfür

DE102013220006A1 [DE] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Qualitaetskontrolle einer Mikrostrukturierung auf einer Oberflaeche, umfassend die Schritte a) Bereitstellen eines mikrostrukturierten Gegenstandes (2) aus Substrat und Mikrostrukturierung, bei dem der Sollzustand der Mikrostrukturierung bekannt ist, b) Einstrahlen von Licht aus einer Lichtquelle (1) in den Bereich, in dem der Gegenstand die Mikrostrukturierung aufweist, c) Detektieren der Intensitaet von reflektiertem Licht mit einem ersten Detektor (4) und d) Detektieren der Intensitaet von reflektiertem Licht mit einem zweiten Detektor (10) und e) Vergleichen der in Schritt c) und d) gemessenen Intensitaet mit den Intensitaeten, die eine Mikrostruktur im Sollzustand bei der gleichen Stellung der Detektoren (4) und (10) aufweisen wuerde.