Vorrichtung und Verfahren zum Handhaben von Werkstücken

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Handhaben von Werkstuecken, bei welchen ein Werkstueck in einem, abgesehen von Fluidzufuehrungen und -abfuehrungen, abgeschlossenen Gehaeuse auf einem Fluidpolster schwebend gehalten wird. Die Erfindung ist besonders geeignet fuer flaechige und/oder ebene Werkstuecke, wie beispielsweise Glasplaettchen, Wafer und andere beruehrungsempfindliche Werkstuecke.

The invention relates to a device and a method for handling workpieces. A workpiece is held in a housing on a fluid cushion in a floating manner, said housing being closed apart from fluid inlets and outlets. The invention is particularly suitable for flat and/or level workpieces, such as glass disks, wafers, and other touch-sensitive workpieces for example.