Struktur enthaltend einen Festschmierstoff (Festschmierstoffstruktur), insbesondere für eine vakuumtribologische Anwendung ausgebildete Festschmierstoffstruktur, und Herstellungsverfahren derselben

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Festschmierstoffstruktur insbesondere fuer eine vakuumtribologische Anwendung ausgebildete Festschmierstoffstruktur mit einer Substratbasis (1) und einem angrenzend an diese und/oder verbunden mit dieser Substratbasis (1) ausgebildeten Schichtsystem (2) wobei dieses Schichtsystem (2) mindestens eine Schicht (2a) enthaltend oder bestehend aus diamantartigen/m Kohlenstoff DLC umfasst wobei entweder im Schichtsystem (2) oder sowohl im Schichtsystem (2) als auch in der Substratbasis (1) eine Vielzahl einzelner eine Vertiefungsstruktur (3) ausbildende Vertiefungen (3a 3b ...) ausgebildet ist und wobei mindestens eine der bevorzugt mehrere der bevorzugt alle der Vertiefungen (3a 3b ...) zumindest teilweise mit mindestens einem Festschmierstoff (4) gefuellt ist/sind.

The invention relates to a solid lubricant structure, in particular a solid lubricant structure designed for a vacuum-tribological use, comprising a substrate base (1) and a layer system (2) that adjoins or is connected to said substrate base (1), said layer system (2) comprising at least one layer (2a) that contains or consists of diamond-like carbon DLC. A plurality of individual depressions (3a, 3b,...) forming a structure (3) of depressions is formed in the layer system (2) or in both the layer system (2) and the substrate base (1). At least one, preferably several, preferably all of the depressions (3a, 3b,...) is/are filled at least in part with at least one solid lubricant (4).