Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung oder Modifizierung von Oberflaechen

Bei einem erfindungsgemaessen Verfahren und einer erfindungsgemaessen Vorrichtung (2) zum Beschichten oder Modifizieren einer Oberflaeche (41, 42) wird ein Stroemung (6) einer ersten Gasphase (10) oder eines ersten Aerosols, umfassend eine oder mehrere Prekursor-Verbindungen, entlang eines erhitzten Filaments (14) gefuehrt, so dass die Prekursor- Verbindungen in reaktive Verbindungen ueberfuehrt werden. Alternativ werden nicht aktivierte Teilchen entlang eines erhitzten Filaments gefuehrt, so dass diese aktiviert werden und dann mit einer Gasphase (10) oder einem Aerosol, umfassend mehrere Prekursor-Verbindungen, zusammengefuehrt werden, so dass hierdurch die Prekursor-Verbindungen in reaktive Verbindungen ueberfuehrt werden. Die nach mindestens einem der beiden genannten Schritte gebildeten reaktiven Verbindungen werden auf ein Substrat geleitet, das Atmosphaerendruck ausgesetzt ist, so dass sich auf diesem eine Schicht abscheidet oder dessen Oberflaeche modifiziert wird.

WO2005014880 A UPAB: 20050308 NOVELTY - Method for coating or modifying surfaces comprises passing a gas (10) or aerosol containing precursor compounds over a heated filament (14) to convert them to reactive compounds which can be deposited on, or modify, a surface (41, 42). Non-activated particles can be activated by passing them over heated filaments, after which they are combined with the gas stream and react with the precursor compounds. The total particle density in the gas is sufficient to produce more than 10 mol/(m2s) of reactive compounds. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is included for apparatus for carrying out the method comprising a channel (4) for a stream (6) of gas, in which a heated filament is mounted, a gas source and a second channel (12) connecting the source with the first channel. USE - Coating or modifying surfaces.