Sonde fuer ein optisches Nahfeldmikroskop mit verbesserter Streulichtunterdrueckung und Verfahren zu deren Herstellung

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sonde fuer ein optisches Nahfeldmikroskop, welche einen planaren Traeger mit einer Sondenspitze aufweist, wobei die Sondenspitze zumindest teilweise aus einem transparenten Material besteht. Die Erfindung betrifft weiter ein Verfahren zum Herstellen einer solchen Sonde. Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Sonde fuer ein optisches Nahfeldmikroskop und ein Verfahren zu deren Herstellung zur Verfuegung zu stellen, wobei die Sonde mit einer hohen Reproduzierbarkeit in einer einfachen Technologie gefertigt werden kann und die Sone eine einfache aber effiziente Lichtzufuehrung aufweist. Die Aufgabe wird bei einer Sonde der eingangs genannten Art erfindungsgemaess dadurch geloest, dass der Traeger einen Lichtwellenleiter aufweist. Hinsichtlich eines Verfahrens zur Herstellung einer Sonde wird die vorgenannte Aufgabe erfindungsgemaess geloest durch ein Verfahren mit den Schritten: Aufbringen einer Beschichtung auf ein Substrat in einem ersten Schritt, wobei die Beschichtung einen Lichtwellenleiter aufweist; Aufbringen einer transparenten Schicht in einem zweiten Schritt, so dass der Lichtwellenleiter zwischen dem Substrat und der transparenten Schicht angeordnet ist; Maskieren der transparenten Schicht wenigstens in einem Bereich oberhalb der Sondenspitze in einem dritten Schritt; und Aetzen der transparenten Schicht unter Ausbildung der Sondenspitze, in einem vierten Schritt.

WO2004068502 A UPAB: 20040910 NOVELTY - The carrier (3) comprises an optical waveguide (23). DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is included for the method of manufacture. USE - A probe with a transparent tip is used for an optical near-field microscope. ADVANTAGE - The probe is manufactured with high reproducibility using simple technology. It has a simple but efficient optical system. Probe design suppresses light scattering.