Patent
Title

VERFAHREN ZUR REGELUNG VON REAKTIVEN SPUTTERPROZESSEN

Inventor(s)
Bringmann, U.
Hoeing, T.
Malkomes, N.
Szyszka, B.
Vergoehl, M.
Poeckelmann, R.
Link to:
Patent Number
2000-10015150
Publication Date
2003
Language
German