Patent
Title

Verfahren und Einrichtung zur pulsfoermigen Energiezufuehrung fuer ein Niederdruckplasma und deren Anwendung

Inventor(s)
Frach, P.
Goedicke, K.
Junghaehnel, M.
Kirchhoff, V.
Winkler, T.
Handt, K.
Link to:
Patent Number
1999-19937621
Publication Date
2001
Language
German