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Sensoranordnung zur Messung von Druck, Kraft oder Messgroessen, die sich auf Druck oder Kraft zurueckfuehren lassen, Verfahren zur Herstellung der Sensoranordnung, Sensorelement und Verfahren zur Herstellung des Sensorelements
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Title
Sensoranordnung zur Messung von Druck, Kraft oder Messgroessen, die sich auf Druck oder Kraft zurueckfuehren lassen, Verfahren zur Herstellung der Sensoranordnung, Sensorelement und Verfahren zur Herstellung des Sensorelements
Date Issued
1999
Author(s)
Faul, R.
Patent No
1998-19810756
Language
Deutsch
Institute
IZM
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19810756A
Patenprio
DE 1998-19810756 A: 19980312
