Vorrichtung zur zweidimensionalen Abtastung einer Oberflaeche

Eine Vorrichtung zur zweidimensionalen Abtastung einer Oberflaeche (17) verfuegt ueber eine beleuchtende Lichtquelle (1), eine zwei Antriebe aufweisende, zweidimensionale Lichtablenkeinrichtung (7) und einen Detektor (22). Ein von der beleuchtenden Lichtquelle (1) ausgesandter umgelenkter beleuchtender Lichtstrahl (5) und ein zum Detektor (22) zurueckgestreuter Lichtstrahl (20) verlaufen im wesentlichen koaxial entlang einer optischen Achse (4), die die reflektierende Oberflaeche eines einzigen Spiegels (6) der Lichtablenkeinrichtung (7) in einem festen Raumpunkt (15) trifft. In diesem kreuzen sich seine erste Drehachse (4) mit seiner zweiten Drehachse (13) im wesentlichen rechtwinklig, wobei eine Drehung des Spiegels (6) um die erste Drehachse (4) mit Hilfe des ersten Antriebs und um die zweite Drehachse (13) mit Hilfe des zweiten Antriebs (11) den festen Raumpunkt (15) in der reflektierenden Oberflaeche des Spiegels (6) belaesst. Der erste Antrieb ist raumfest angeordnet, waehrend de r zweite Antrieb (11) um die erste Drehachse (4) verkippbar angeordnet ist. Der schnelle Schwingungen um die zweite Drehachse (13) erzeugende zweite Antrieb (11) ist ein Glavanometer-Versteller (11).