Sensor mit hoher Empfindlichkeit

Die Erfindung betrifft einen Sensor, der mit einer duennen Membran ausgestattet ist, die faehig ist, elektrische Ladungen zu speichern, und deren Oberflaeche in Kontakt mit den zu messenden chemischen, biologischen und/oder anderen physikalischen Groessen steht, wobei die Membran Teil eines elektromechanischen Resonanzkreises ist, der mit fortlaufenden akustischen Wellen arbeitet, der Membran liegen dabei als Sender und Empfaenger fuer die fortlaufenden akustischen Plattenwellen je ein mit Interdigitalstrukturen ausgestatteter Wandler gegenueber, die als schmalbandige Filter wirken, wobei Senderwandler und Empfaengerwandler in einem Streckenabstand zueinander angeordnet sind und das Signal des Empfaengerwandlers kapazitiv erfasst wird, weiterhin ist zwischen dem Ausgangssignal des Empfaengerwandlers und dem Senderwandler eine geeignete elektronische Ansteuer- und Auswerteschaltung bzw. eine Rueckkopplung vorgesehen und schliesslich ist zwischen der Membran einerseits sowie dem Senderwa ndler und dem Empfaengerwandler andererseits eine Gleichspannung angelegt, der am Senderwandler eine Wechselspannung ueberlagert wird, wobei die Erzeugung der akustischen Plattenwellen im Senderwandler allein aufgrund elektrostatischer Anziehungskraft bzw. Anregung zwischen den Interdigitalstrukturen des Senderwandlers und der Membran erfolgt, dass weiterhin das Ausgangssignal des Empfaengerwandlers auf kapazitivem Wege derart ausgekoppelt wird, dass dazu im Empfaengerwandler die Schwingungsamplitude der ...