2021
Report
Titel

Micro- and nanostructure of PECVD Ti-Si-B-C-N nanocomposite coatings
Alternative
DELTA user report 2021
Author(s)
Thewes, Alexander
IOT TU Braunschweig
Paschke, Hanno
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
Sternemann, Christian
Fakultät Physik/DELTA, Technische Universität Dortmund
Paulus, Michael
Fakultät Physik/DELTA, Technische Universität Dortmund
Verlagsort
Dortmund
File(s)
Language
English