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Buch
Silizium-Halbleitertechnologie. Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik. 6., korr. und verb. Aufl.
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2014
Book
Title
Silizium-Halbleitertechnologie. Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik. 6., korr. und verb. Aufl.
Author(s)
Hilleringmann, U.
Publisher
Springer Vieweg
Publishing Place
Wiesbaden
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS