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2020
Doctoral Thesis
Titel
Darstellung und Simulation von AlN/GaN-Übergitterstrukturen für elektronische Bauelemente
Abstract
Pufferschichten haben bei elektronischen Bauelementen eine spannungsreduzierende und eine isolierende Eigenschaft. In der vorliegenden Dissertation wurden Übergitter, bestehend aus kurzperiodischen AlN und GaN Schichten, als Pufferschichten realisiert. Hergestellt, charakterisiert und simuliert wurden zwei unterschiedliche Variationen in der Periode des Übergitters. Die Simulation erfolgte anhand von Kapazitäts-Spannungs-Messungen.
ThesisNote
Zugl.: Freiburg/Brsg., Univ., Diss., 2019
Beteiligt