2010
Doctoral Thesis
Title

Untersuchung des Wachstumsverhaltens und der Bandlücke von ALD-hafniumbasierten Oxidschichten mittels winkelaufgelöster Röntgenphotoelektronenspektroskopie

Thesis Note
Dresden, TU, Diss., 2010
Author(s)
Nawka, S.
Publishing Place
Dresden
Language
German