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Abschlussarbeit
Charakterisierung und Modellierung von Ladungseinfangmechanismen in dielektrischen Speicherschichten
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2009
Doctoral Thesis
Title
Charakterisierung und Modellierung von Ladungseinfangmechanismen in dielektrischen Speicherschichten
Thesis Note
Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2009
Author(s)
Klar, O.
Advisor(s)
Ryssel, H.
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Publishing Place
Erlangen
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Language
German
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB