2005
Doctoral Thesis
Title

Strukturbreitenbestimmung für die sub 100nm-Lithographie mittels spektralellipsometrischer Beugungsmessung

Other Title
Linewidth measurement for the sub 100nm-lithography with spectroscopic ellipsometry
Thesis Note
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2005
Author(s)
Weidner, A.
Publisher
Publishing Place
Aachen
Language
German