Kapazitive Gassensoren mit Schichten aus Heteropolysiloxan

Kapazitive Gassensoren (Interdigitalkondensatoren) mit einer sensitiven Beschichtung aus aminogruppenhaltigen Heteropolysiloxanen wurden untersucht. Für die dielektrischen Relaxation der adsorbierten Gasmoleküle und der Schicht wurde ein Modell erstellt und mit Impedanzspektroskopie untersucht. Die Geometrie der Elektroden der Interdigitalkondensatoren wurde variiert und optimiert. Ein Ergebnis sind kapazitive Gassensoren für SO2 (1-200vpm und 10-6000vpm) mit geringer Querempfindlichkeit und großer Reproduzierbarkeit.