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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Highspeed PVD-Schichtsysteme
 
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2019
Journal Article
Title

Highspeed PVD-Schichtsysteme

Abstract
Physical Vapour Deposition (PVD)-Verfahren sind Dünnschichttechnologien, bei denen das Beschichtungsmaterial mittels physikalischer Verfahren in die Gasphase überführt und anschließend auf einem Substrat kondensiert wird. Dabei rückt die neue High-Speed PVD-Technologie (HS-PVD) in den Vordergrund, charakterisiert durch eine essentiell höhere Abscheiderate verbunden mit der Realisierung dickerer und damit widerstandfähigerer Schichten. Die abgeschiedenen Schichten dienen insbesondere der Erhaltung wirkungsgradoptimaler Konturen und der Erhöhung der Lebensdauer zum Schutz vor Erosion im Bereich stationärer und rotierender Komponenten wie z.B. in Flugtriebwerken oder bei Pumpensystemen.
Author(s)
Yildirim, Baycan  
Fraunhofer-Institut für Naturwissenschaftlich-Technische Trendanalysen INT  
Journal
Europäische Sicherheit & Technik : ES & T  
DOI
10.24406/publica-fhg-260356
File(s)
N-565949.pdf (65.29 KB)
Rights
Under Copyright
Language
German
Fraunhofer-Institut für Naturwissenschaftlich-Technische Trendanalysen INT  
Keyword(s)
  • Schicht

  • Gasphasenabscheidung

  • physical vapour deposition

  • PVD

  • high speed-PVD

  • erosion

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