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2016
Journal Article
Title
Hochgeschwindigkeitsmikroskopie zur Qualitätskontrolle
Title Supplement
Piezoantriebe im echtzeitfähigen Autofokus-System
Abstract
In der Halbleiter- und Elektronikfertigung ist der Bedarf an mikroskopischen Prüfverfahren aufgrund des hohen Miniaturisierungsgrades sehr groß. Ähnliche Anforderungen haben auch andere Bereiche wie zum Beispiel die Biotechnologie oder Pharmazie. Konventionelle Mikroskopie-Verfahren können hier jedoch - vor allem wenn hohen Auflösung gefordert ist - nicht mit der Geschwindigkeit der heute üblichen Automatisierungstechnik Schritt halten. Dank neuer Hochdurchsatz-Mikroskopiesysteme hat sich das nun geändert. Piezoaktoren als Antriebe in ihren echtzeitfähigen Autofokus-Sytemen spielen dabei eine Schlüsselrolle.
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