Hyperspektrales Imaging für die Schichtanalytik

Die Möglichkeiten eine zuverlässige und flächige Oberflächen- und Schichtkontrolle zu etablieren, haben sich mit der modernen, bildgebenden Spektroskopie erheblich erweitert. Eine dieser Methoden ist das Hyperspektrale Imaging (HSI). Basierend auf einer spektralen Auswertung im sichtbaren (VIS, 380-780 nm) oder nahinfraroten Wellenlängenbereich (NIR, 780-2500 nm) werden eine Vielzahl an Möglichkeiten eröffnet, Oberflächen und Schichten zu kontrollieren. Ausgewertet werden dabei die auftretenden Absorptionen, die ganz unterschiedliche Informationen enthalten.