Verformung von Mikrosystemen bei hohen Temperaturen

Mit Hilfe von FE-Simulationen lassen sich zuverlässig Aussagen über Einflüsse und daraus resultierende Belastungen auf ein System treffen. Die Verifikation der Simulationen erfolgt durch optische Messsysteme. Hierzu wurden ein ESPI- und ein DIC-System etabliert.