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Wasserstofffreie amorphe Kohlenstoffschichten - abgeschieden durch plasmaaktivierte Hochratebedampfung
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2007
Journal Article
Title
Wasserstofffreie amorphe Kohlenstoffschichten - abgeschieden durch plasmaaktivierte Hochratebedampfung
Other Title
Hydrogen free amorphous carbon coatings - deposited with plasma-activated high-rate evaporation
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Author(s)
Heinß, J.-P.
Journal
Vakuum in Forschung und Praxis
DOI
10.1002/vipr.200700328
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Keyword(s)
Schichtcharakterisierung
plasmaaktivierte Hochrate-Bedampfung