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Silber-Nano-Cluster in einer plasmapolymeren Releaseschicht
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2005
Journal Article
Title
Silber-Nano-Cluster in einer plasmapolymeren Releaseschicht
Other Title
Silver nano cluster in a plasma polymer release layer
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Author(s)
Salz, D.
Wagener, M.
Journal
Vakuum in Forschung und Praxis
DOI
10.1002/vipr.200500257
Language
German
Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM