English
Deutsch
Log In
Email address
Password
Log in
or
Log in with Shibboleth
Research Outputs
Projects
Researchers
Institutes
Statistics
Fraunhofer-Gesellschaft
Home
Fraunhofer-Gesellschaft
Artikel
Micro mirror arrays for VLSI mask fabrication
Details
Full
Export
Statistics
Options
2003
Aufsatz in Buch
Titel
Micro mirror arrays for VLSI mask fabrication
Author(s)
Schenk, H.
Dauderstädt, U.
Dürr, P.
Lakner, H.K.
Hauptwerk
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Annual Report 2002
Language
Englisch
google-scholar
View Details
IMS
