2002
Titel

Step towards a standard fabrication method of micro fluid actuators
Author(s)
Kruckow, J.
Brand, S.
Wackerle, M.
Schwan, M.
Stamova, D.
Weidhaas, J.
Drost, A.
Schaber, U.
Richter, M.
Hauptwerk
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Language
Englisch