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Kundenspezifische Entwürfe: Das Foundry-Konzept in der Mikrosystemtechnik
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1999
Journal Article
Title
Kundenspezifische Entwürfe: Das Foundry-Konzept in der Mikrosystemtechnik
Author(s)
Wenk, B.
Journal
F und M. Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Mikroelektronik
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT
