Metallhaltige Germaniumschichten als Hochohmwiderstandsmaterial

Diskrete Widerstandsbauelemente bestehen aus einem Träger, auf den eine Fuktionsschicht mit genau definierten und eng tolerierten elektrischen Eigenschaften aufgebracht wird. Mit der allgemeinen Tendenz zur Miniaturisierung nehmen die Anforderungen an diese Funktionsschicht insbesondere in Bezug auf Hochohmigkeit und Langzeitstabilität stetig zu. Die im PVD-Verfahren hergestellten metallhaltigen Germaniumschichten scheinen nach ersten Untersuchungen eine vielversprechende Altemative zu den heute in der Massenproduktion etablierten Schichtsystemen wie zum Beispiel NiCr oder CrSi darzustellen.