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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Den Gigachip im Visier
 
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1990
Journal Article
Title

Den Gigachip im Visier

Abstract
Die diesjährige Step-Europe-Konferenz, die am 11. und 12. Oktober in Brüssel stattfand, präsentierte die neuesten Trends und Entwicklungen für Reinraumtechnik in der Halbleiterfertigung. Um die hohen Zielsetzungen für Fertigungsanforderungen hinsichtlich des 64-Mbit-Chips und der künftigen Giga-Chip-Produktion zu erfüllen, ist eine effektive Koordination, so zum Beispiel im Bereich der Standardisierung der Schnittstellen, erforderlich.
Author(s)
Dorner, J.
Geißinger, J.
Journal
Elektronik  
Conference
Step Europe Conference 1990  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA  
Keyword(s)
  • chip

  • Fertigung

  • Reinraumtechnik

  • Schnittstelle

  • semiconductor

  • Ultra-clean-manufacturing

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