Gassensoren auf Siliziumbasis

Gassensoren auf Basis der Siliziumtechnologie können preiswert in hohen Stückzahlen hergestellt werden. Neben der Möglichkeit der extremen Miniaturisierung können auf dem Siliziumchip neben gassensitiven Elementen auch Sensoren zur Temperaturüberwachung, Heizelemente sowie die vollständige Signalverarbeitung einschließlich der notwendigen Schnittstellen integriert werden. Dies führt zu Vorteilen wie kleine Systemabmessungen, geringes Gewicht und geringe Störempfindlichkeit durch die unmittelbare räumliche Nähe von Sensorelementen und Sensorelektronik. Diese Technologie erlaubt darüber hinaus die Integration von mehreren Sensorelementen unterschiedlicher Empfindlichkeit zu Multisensorsystemen auf engstem Raum.