Atmosphärendruckplasma-Düsensysteme

In der Oberflächentechnik finden Plasmen Anwendung in den Bereichen zur Aktivierung, der Reinigung, der Beschichtung, der Sterilisation und dem Plasmaätzen. Die technischen Einsatzmöglichkeiten von Plasma- Düsensystemen werden in einer Tabelle dargestellt. Die Vielfalt der Systeme, die in der Tabelle gezeigt sind, ist inzwischen so groß, daß die Aussagen nicht für alle Systeme in gleichem Umfang zutreffen. Die Vorbehandlung mit Plasmadüsen betrifft viele Kunststoffe und Metalle, die vor der Lackierung oder einer Aktivierung, eine Oberflächenmodifikation durchlaufen müssen. Durch diese Modifikation der Oberfläche des Werkstücks ist eine Verbesserung der Klebe- bzw. Lackhaftung möglich. Die Beschichtung mit Plasmadüsen zeigt zum Beispiel, daß eine Aluminiumprobe (Al AA 2024) die für 96 Stunden in einem Salzsprühtest ausgelagert wurde, keine Korrosion vorkommt. Auf anderen Legierungen konnten Beständigkeiten bis zu 500 Stunden erreicht werden. Es wird eine elektronenmikroskopische Aufnahme einer plasmapolymeren Schutzbeschichtung gezeigt. Untersuchungen ergaben, daß mit dem entwickelten Plasmasystem Schichtabscheideraten von bis zu 2000 nm/min ereicht werden können.